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      芯明天直驅機構式壓電掃描臺 P77壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺,壓電平臺中心為106mm大通光孔,壓電陶瓷直驅機構,內置高性能壓電陶瓷,可以實現Z 軸20μm的位移行程,無摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率,閉環版本定位精度可達納米級,是光學移相器的選擇。《查看更多》
      直驅機構式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺,一體式結構設計原理,壓電陶瓷直驅機構,可實現8μm的掃描范圍,臺體高度僅為17mm,閉環版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應用。《查看更多》
      N65XY芯明天直驅機構式壓電掃描臺,一體式結構設計原理,壓電陶瓷直驅機構,可實現8μm的掃描范圍,臺體高度僅為17mm,閉環版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應用。《查看更多》
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