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      產品名稱:芯明天直驅機構式壓電納米定位臺

      產品型號:XP-63X

      產品報價:

      產品特點:芯明天直驅機構式壓電納米定位臺 XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺,內置高可靠性壓電陶瓷,采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點,可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

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      XP-63X芯明天直驅機構式壓電納米定位臺的詳細資料:

      芯明天直驅機構式壓電納米定位臺特性

      1~3維自由組合

      大行程68μm

      大承載5kg

      重復定位精度可達0.05%F.S.

      亞毫秒響應時間


      1-3維平移臺

      XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過疊加的方式組成XY,XZ,XYZ多種運動結構。多種規格型號可選。
      柔性鉸鏈采用精密線切割技術。


      體積小、剛度大、響應速度快、閉環精度高

      XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計,具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率,響應時間可以實現亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載,響應時間僅為5ms。

      XP-63X系列產品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設備集成。閉環版本配置應變傳感器,可實時檢測位置信號并反饋給閉環控制器,控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正,從而實現納米級的精密定位。

      閉環版本配置應變傳感器,可實時檢測位置信號并反饋給閉環控制器,控制器通過 PID 算法對檢測到的位置信號進行修正,從而實現納米級的精密定位。


      芯明天直驅機構式壓電納米定位臺應用實例

      采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的精確力控制實驗。


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